手动标尺校准

校准流程

如果需要精确校准每个倍率的标尺,需要使用 傅里叶空间正空间 两种校准方式。

傅里叶空间正空间 两种校准方式适用于不同的倍率范围。

具体的校准流程如下:

  1. 载入单晶硅或单晶金样品,切换到需要使用的最高倍率,在 傅里叶空间 进行倍率校准。

  2. 逐步降低倍率,并重复上述校准过程,直到傅里叶空间内无法观察到晶格点为止。

  3. 更换为含有多个特征点的样品,切换到完成傅里叶空间校准的最低倍率,测量两个特征点之间的实际距离(两个特征点的距离应该大于1/2相机视野)。

  4. 由于所选倍率已经完成傅里叶空间的倍率校准,我们可以将此时的特征点距离视为准确值,并以此作为基准在 正空间 进行倍率校准。

  5. 降至低一级的倍率,对相同的两个特征点进行距离量测。以前一次的测量结果为基准,对当前倍率进行校准。

  6. 逐步降低倍率,并重复上述校准过程,直至两个特征点之间的距离小于1/2相机视野。

  7. 在已校准的倍率下,量测新的特征点对之间的距离,并将此距离作为基准,对更低倍率进行校准。

傅里叶空间

样品: 推荐使用 单晶硅样品单晶金样品

校准范围: pixel size 小于0.1 nm的倍率,可以在傅里叶空间看到晶格点。

校准方法1:

Manual标签 里按照如下顺序进行操作:

../_images/FFT_method1.png

  1. 选择探测器品牌和图像类型

  2. Method模块Load 下拉列表中选择 Image+FFT

  3. Method模块Binning 下拉列表中选择合适的 Binning数值

  4. Method模块Marked by 下拉列表中选择 Circle Annotation

  5. Method模块Radius 下拉列表中选择FFT图像上显示的圆圈半径

  6. Image Info模块 中点击 Load Image 按钮,载入用于标尺校准的图像

  7. Correction模块 中点击 +- 按钮来增减圆圈的半径,直至FFT图像上的圆圈套住所期望的晶格点

  8. Correction模块 中点击 Update Mag Table 按钮,更新倍率表文件中当前倍率的 pixel size

../_images/fft_circle_annot.png

Circle Annotation调节圆圈半径,直至套住所期望的晶格点(第7步)


校准方法2:

Manual标签 里按照如下顺序进行操作:

../_images/FFT_method2.png

  1. 选择探测器品牌和图像类型

  2. Method模块Load 下拉列表里选择 Image+FFT

  3. Method模块Binning 下拉列表选择合适的 Binning数值

  4. Method模块 Marked by 下拉列表里选择 Line Annotation

  5. Image Info模块 里点击 Load Image 按钮,载入用于标尺校准的图片

  6. 在FFT图像上用 Line Annotation工具 连接两个对称的晶格点,然后点击 Correcction模块 中的 Fetch Current 按钮

  7. Correction模块Actual Length 输入框里输入正确的晶格常数。详见 单晶硅样品单晶金样品

  8. Correction模块 点击 Update Mag Table 按钮,更新倍率表文件中当前倍率的 pixel size

../_images/fft_line_annot.png

Line Annotation连接两个对称的晶格点(第6步)

备注

  • 对于FFT图像,由于中心斑的强度过强,导致晶格点的峰位无法被有效识别,因此不推荐使用 Line Profile工具 。如果希望使用 Line Profile工具 ,可以在Line Profile窗口将鼠标移动至纵坐标数值处,按住 Ctrl 键,再按住鼠标左键上下拖动,可以缩放纵坐标显示范围。

  • 图像上的量测直线只能有一条。如果存在多条量测直线,点击 Fetch Current 按钮时将弹出错误提示。

  • Correction模块Current Length 值,是量测直线长度的一半。因此,直接输入 单晶硅样品单晶金样品 的对应晶格点的晶面间距即可。

  • 若当前模式下没有 Magic Number ,则会根据此次校准结果计算Magic Number并写入倍率表文件。

  • 如果需要手动更新 Magic Number ,可以参考 手动更新Magic Number

正空间

Manual标签 里按照如下顺序进行操作:

../_images/image_method.png

  1. 选择探测器品牌及图像类型。

  2. Method模块Load 下拉列表里选择Image。

  3. Method模块Binning 下拉列表选择合适的 Binning数值

  4. Method模块 Marked by 下拉列表里选择 Line Annotation或者Line Profile工具 ,此处以Line Profile工具为例。

  5. Image Info模块 里点击 Load Image 按钮,载入用于标尺校准的图片。

  6. 在图像上用 Line Annotation或者Line Profile工具 连接两个特征点(直线两端可以超过特征点,之后在Line Profile窗口进行精细调节),点击 Correcction模块 中的 Fetch Current 按钮。

  7. Correction模块Actual Length 输入框里填入正确的长度值。

  8. Correction模块 点击 Update Mag Table 按钮,将当前倍率的 pixel size 更新至倍率表文件。

../_images/image_line_profile1.png

../_images/image_line_profile2.png

Line Profile连接两个特征点,并进行精细调节(第6步)

备注

小技巧

手动更新 Magic Number 流程如下(仅限专业用户使用):

  1. Expert标签 中,点击 Activate 按钮,激活所有控件。

  2. 查看需要手动更新Magic Number的采集模式的倍率信息 ,选取几个常用的倍率,计算 倍率 * pixel size相机长度 * pixel size ,然后取均值。

  3. 点击 Update Magic Number 按钮,在弹出对话框中选择需要更新的采集模式,在 Actual Number 输入框中输入上一步计算的均值,点击 Update Magic Number 按钮。

../_images/update_magic_number.png