手动标尺验证

傅里叶空间

样品: 推荐使用 单晶硅样品单晶金样品

验证范围: pixel size 小于0.1 nm的倍率,可以在傅里叶空间看到晶格点。

验证方法1:

Manual标签 里按照如下顺序进行操作:

../_images/FFT_method11.png

  1. Method模块Load 下拉列表中选择 Image+FFT

  2. Method模块Binning 下拉列表中选择合适的 Binning数值

  3. Method模块Marked by 下拉列表中选择 Circle Annotation

  4. Method模块Radius 下拉列表中选择FFT图像上显示的圆圈半径

  5. Image Info模块 中点击 Load Image 按钮,载入用于标尺验证的图像

  6. Correction模块 中点击 +- 按钮来增减圆圈的半径,直至FFT图像上的圆圈套住所期望的晶格点

../_images/fft_circle_annot1.png

Circle Annotation调节圆圈半径,直至套住所期望的晶格点(第6步)


验证方法2:

Manual标签 里按照如下顺序进行操作:

../_images/FFT_method21.png

  1. Method模块Load 下拉列表里选择 Image+FFT

  2. Method模块Binning 下拉列表选择合适的 Binning数值

  3. Method模块 Marked by 下拉列表里选择 Line Annotation

  4. Image Info模块 里点击 Load Image 按钮,载入用于标尺验证的图片

  5. 在FFT图像上用 Line Annotation工具 连接两个对称的晶格点,然后点击 Correcction模块 中的 Fetch Current 按钮

  6. Correction模块Actual Length 输入框里输入正确的晶格常数,按 Tab 键生成倍率误差。详见 单晶硅样品单晶金样品

../_images/fft_line_annot1.png

Line Annotation连接两个对称的晶格点(第5步)

备注

  • 对于FFT图像,由于中心斑的强度过强,导致晶格点的峰位无法被有效识别,因此不推荐使用 Line Profile工具 。如果希望使用 Line Profile工具 ,可以在Line Profile窗口将鼠标移动至纵坐标数值处,按住 Ctrl 键,再按住鼠标左键上下拖动,可以缩放纵坐标显示范围。

  • 图像上的量测直线只能有一条。如果存在多条量测直线,点击 Fetch Current 按钮时将弹出错误提示。

  • Correction模块Current Length 值,是量测直线长度的一半。因此,直接输入 单晶硅样品单晶金样品 的对应晶格点的晶面间距即可。

正空间

Manual标签 里按照如下顺序进行操作:

../_images/image_method1.png

  1. Method模块Load 下拉列表里选择Image。

  2. Method模块Binning 下拉列表选择合适的 Binning数值

  3. Method模块 Marked by 下拉列表里选择 Line Annotation或者Line Profile工具 ,此处以Line Profile工具为例。

  4. Image Info模块 里点击 Load Image 按钮,载入用于标尺验证的图片。

  5. 在图像上用 Line Annotation或者Line Profile工具 连接两个特征点(直线两端可以超过特征点,之后在Line Profile窗口进行精细调节),点击 Correcction模块 中的 Fetch Current 按钮。

  6. Correction模块Actual Length 输入框里填入正确的长度值,按 Tab 键生成倍率误差。

../_images/image_line_profile11.png

../_images/image_line_profile21.png

Line Profile连接两个特征点,并进行精细调节(第5步)

备注