倍率误差

符号定义

倍率误差的符号根据图像模式定义(量测结果单位为nm,而非1/nm)。当实际距离大于测量距离时,倍率误差为负;反之则为正。

计算公式

  1. 使用 Line AnnotationLine Profile 在图像上进行量测,倍率误差计算公式为 1 - 实际距离 / 量测距离

  2. 使用相同方法在 FFT 上进行量测时公式相同,分母为图像特征点的距离。

  3. 使用 Circle Annotation 在 FFT 上量测时,倍率误差计算公式为 1 - 缩放比例

  1. 使用自动倍率识别算法时,倍率误差计算公式为 1 - 缩放比例