手动标尺校准
校准流程
如果需要精确校准每个倍率的标尺,需要使用 傅里叶空间 和 正空间 两种校准方式。
具体的校准流程如下:
载入单晶硅或单晶金样品,切换到需要使用的最高倍率,在 傅里叶空间 进行倍率校准。
逐步降低倍率,并重复上述校准过程,直到傅里叶空间内无法观察到晶格点为止。
更换为含有多个特征点的样品,切换到完成傅里叶空间校准的最低倍率,测量两个特征点之间的实际距离(两个特征点的距离应该大于1/2相机视野)。
由于所选倍率已经完成傅里叶空间的倍率校准,我们可以将此时的特征点距离视为准确值,并以此作为基准在 正空间 进行倍率校准。
降至低一级的倍率,对相同的两个特征点进行距离量测。以前一次的测量结果为基准,对当前倍率进行校准。
逐步降低倍率,并重复上述校准过程,直至两个特征点之间的距离小于1/2相机视野。
在已校准的倍率下,量测新的特征点对之间的距离,并将此距离作为基准,对更低倍率进行校准。
傅里叶空间
校准范围: pixel size 小于0.1 nm的倍率,可以在傅里叶空间看到晶格点。
校准方法1:
在 Manual标签 里按照如下顺序进行操作:

选择探测器品牌和图像类型
在 Method模块 的
Load
下拉列表中选择Image+FFT
在 Method模块 的
Binning
下拉列表中选择合适的 Binning数值在 Method模块 的
Marked by
下拉列表中选择Circle Annotation
在 Method模块 的
Radius
下拉列表中选择FFT图像上显示的圆圈半径在 Image Info模块 中点击 Load Image 按钮,载入用于标尺校准的图像
在 Correction模块 中点击 + 或 - 按钮来增减圆圈的半径,直至FFT图像上的圆圈套住所期望的晶格点
在 Correction模块 中点击 Update Mag Table 按钮,更新倍率表文件中当前倍率的 pixel size

Circle Annotation调节圆圈半径,直至套住所期望的晶格点(第7步)
校准方法2:
在 Manual标签 里按照如下顺序进行操作:

选择探测器品牌和图像类型
在 Method模块 的
Load
下拉列表里选择Image+FFT
在 Method模块 的
Binning
下拉列表选择合适的 Binning数值在 Method模块
Marked by
下拉列表里选择 Line Annotation在 Image Info模块 里点击 Load Image 按钮,载入用于标尺校准的图片
在FFT图像上用 Line Annotation工具 连接两个对称的晶格点,然后点击 Correcction模块 中的
Fetch Current
按钮在 Correction模块 的
Actual Length
输入框里输入正确的晶格常数。详见 单晶硅样品 或 单晶金样品在 Correction模块 点击 Update Mag Table 按钮,更新倍率表文件中当前倍率的 pixel size

Line Annotation连接两个对称的晶格点(第6步)
备注
对于FFT图像,由于中心斑的强度过强,导致晶格点的峰位无法被有效识别,因此不推荐使用 Line Profile工具 。如果希望使用 Line Profile工具 ,可以在Line Profile窗口将鼠标移动至纵坐标数值处,按住 Ctrl 键,再按住鼠标左键上下拖动,可以缩放纵坐标显示范围。
图像上的量测直线只能有一条。如果存在多条量测直线,点击 Fetch Current 按钮时将弹出错误提示。
Correction模块 的
Current Length
值,是量测直线长度的一半。因此,直接输入 单晶硅样品 或 单晶金样品 的对应晶格点的晶面间距即可。若当前模式下没有 Magic Number ,则会根据此次校准结果计算Magic Number并写入倍率表文件。
如果需要手动更新 Magic Number ,可以参考 手动更新Magic Number 。
正空间
在 Manual标签 里按照如下顺序进行操作:

选择探测器品牌及图像类型。
在 Method模块 的
Load
下拉列表里选择Image。在 Method模块 的
Binning
下拉列表选择合适的 Binning数值在 Method模块
Marked by
下拉列表里选择 Line Annotation或者Line Profile工具 ,此处以Line Profile工具为例。在 Image Info模块 里点击 Load Image 按钮,载入用于标尺校准的图片。
在图像上用 Line Annotation或者Line Profile工具 连接两个特征点(直线两端可以超过特征点,之后在Line Profile窗口进行精细调节),点击 Correcction模块 中的 Fetch Current 按钮。
在 Correction模块 的
Actual Length
输入框里填入正确的长度值。在 Correction模块 点击 Update Mag Table 按钮,将当前倍率的 pixel size 更新至倍率表文件。


Line Profile连接两个特征点,并进行精细调节(第6步)
备注
相对于 Line Annotation工具 , Line Profile工具 可以更精细的调节量测直线的起点和终点。
如果采用 Line Profile工具 ,必须在Line Profile图像上使用选区工具进行精细调节,否则 Fetch Current 按钮无法获取量测长度。
若当前模式下没有 Magic Number ,则会根据此次校准结果计算Magic Number并写入倍率表文件。
如果需要手动更新 Magic Number ,可以参考 手动更新Magic Number 。
小技巧
手动更新 Magic Number 流程如下(仅限专业用户使用):
在 Expert标签 中,点击 Activate 按钮,激活所有控件。
查看需要手动更新Magic Number的采集模式的倍率信息 ,选取几个常用的倍率,计算
倍率
*pixel size
或相机长度
*pixel size
,然后取均值。点击 Update Magic Number 按钮,在弹出对话框中选择需要更新的采集模式,在
Actual Number
输入框中输入上一步计算的均值,点击 Update Magic Number 按钮。
