手动标尺验证
傅里叶空间
验证范围: pixel size 小于0.1 nm的倍率,可以在傅里叶空间看到晶格点。
验证方法1:
在 Manual标签 里按照如下顺序进行操作:

在 Method模块 的
Load
下拉列表中选择Image+FFT
在 Method模块 的
Binning
下拉列表中选择合适的 Binning数值在 Method模块 的
Marked by
下拉列表中选择Circle Annotation
在 Method模块 的
Radius
下拉列表中选择FFT图像上显示的圆圈半径在 Image Info模块 中点击 Load Image 按钮,载入用于标尺验证的图像
在 Correction模块 中点击 + 或 - 按钮来增减圆圈的半径,直至FFT图像上的圆圈套住所期望的晶格点

Circle Annotation调节圆圈半径,直至套住所期望的晶格点(第6步)
验证方法2:
在 Manual标签 里按照如下顺序进行操作:

在 Method模块 的
Load
下拉列表里选择Image+FFT
在 Method模块 的
Binning
下拉列表选择合适的 Binning数值在 Method模块
Marked by
下拉列表里选择 Line Annotation在 Image Info模块 里点击 Load Image 按钮,载入用于标尺验证的图片
在FFT图像上用 Line Annotation工具 连接两个对称的晶格点,然后点击 Correcction模块 中的
Fetch Current
按钮在 Correction模块 的
Actual Length
输入框里输入正确的晶格常数,按 Tab 键生成倍率误差。详见 单晶硅样品 或 单晶金样品

Line Annotation连接两个对称的晶格点(第5步)
备注
对于FFT图像,由于中心斑的强度过强,导致晶格点的峰位无法被有效识别,因此不推荐使用 Line Profile工具 。如果希望使用 Line Profile工具 ,可以在Line Profile窗口将鼠标移动至纵坐标数值处,按住 Ctrl 键,再按住鼠标左键上下拖动,可以缩放纵坐标显示范围。
图像上的量测直线只能有一条。如果存在多条量测直线,点击 Fetch Current 按钮时将弹出错误提示。
Correction模块 的
Current Length
值,是量测直线长度的一半。因此,直接输入 单晶硅样品 或 单晶金样品 的对应晶格点的晶面间距即可。
正空间
在 Manual标签 里按照如下顺序进行操作:

在 Method模块 的
Load
下拉列表里选择Image。在 Method模块 的
Binning
下拉列表选择合适的 Binning数值在 Method模块
Marked by
下拉列表里选择 Line Annotation或者Line Profile工具 ,此处以Line Profile工具为例。在 Image Info模块 里点击 Load Image 按钮,载入用于标尺验证的图片。
在图像上用 Line Annotation或者Line Profile工具 连接两个特征点(直线两端可以超过特征点,之后在Line Profile窗口进行精细调节),点击 Correcction模块 中的 Fetch Current 按钮。
在 Correction模块 的
Actual Length
输入框里填入正确的长度值,按 Tab 键生成倍率误差。


Line Profile连接两个特征点,并进行精细调节(第5步)
备注
相对于 Line Annotation工具 , Line Profile工具 可以更精细的调节量测直线的起点和终点。
如果采用 Line Profile工具 ,必须在Line Profile图像上使用选区工具进行精细调节,否则 Fetch Current 按钮无法获取量测长度。