倍率误差
符号定义
倍率误差的符号根据图像模式定义(量测结果单位为nm,而非1/nm)。当实际距离大于测量距离时,倍率误差为负;反之则为正。
计算公式
使用
Line Annotation
或Line Profile
在图像上进行量测,倍率误差计算公式为1 - 实际距离 / 量测距离
。使用相同方法在 FFT 上进行量测时公式相同,分母为图像特征点的距离。
使用
Circle Annotation
在 FFT 上量测时,倍率误差计算公式为1 - 缩放比例
。
使用自动倍率识别算法时,倍率误差计算公式为
1 - 缩放比例
。